KLA-Tencor 提供的D系列和P系列探针式台阶仪，能够精确测量纳米级至2毫米的台阶高度，并具备分析薄膜表面粗糙度、波纹度和应力等功能。其具有高测量精度、多功能性和经济性，适用于生产线及材料分析等领域。特别是D-600 Stylus Profiler，具有6.0A (1σ) 或0.1%台阶 ...