扫描微波阻抗显微镜(sMIM)是AsylumResearch公司MFP-3DTM和Cypher STM原子力显微镜独有的新技术，能高精度探测材料微纳区域内的电容和电阻变化。sMIM具有高横向分辨率(50nm)、高信噪比(比同类技术高十倍以上)、快速扫描(速度快80倍)及低测试功耗等优点，适用于导体 ...