ULVAC QAM系列研究开发用溅射设备可在低真空环境下（约1Pa～0.1Pa）工作，具备多阴极共溅射和多层膜制备能力。设备采用LTS技术，优化膜厚分布并减少等离子体不均匀影响，适用于多种磁性材料。其操作界面直观，支持自动化运行及数据记录，提供高再现性和 ...

在6G无线通信的发展进程中，一体化感知与通信（ISAC）凭借其对硬件和频谱的高效利用，成为支撑自动驾驶、扩展现实（XR）、智慧城市等智能应用的核心使能技术。而MIMO-OFDM架构因兼具通信的高频谱效率和雷达感知的维度独立性，成为ISAC实际部署的优选方案。